一种用于电容型体硅微陀螺的低噪声读出电路芯片
文献类型:期刊论文
作者 | 尹韬 ; 杨海钢 ; 张翀 ; 吴其松 ; 焦继伟 ; 宓斌玮 |
刊名 | 电子与信息学报
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出版日期 | 2010 |
期号 | 01 |
关键词 | 光学材料 光学常数 远红外反射光谱 p型GaAs |
ISSN号 | 1009-5896 |
中文摘要 | 读出电路位于微传感器系统信号通路的最前端,是决定系统性能的关键因素。本文针对音叉式体硅微陀螺的具体应用,提出了一种低噪声电容读出电路,芯片采用斩波技术降低了电路的低频1/f噪声、失调电压以及参考电压失配的影响,提高了读出电路的分辨率和动态范围;提出一种噪声电荷转移的分析方法,用于分析和预测读出电路的噪声性能;建立一种简化的微陀螺传感器仿真模型,用于模拟读出电路对微传感器的响应。读出电路在0.35μm 2P4 M标准CMOS工艺下设计流片,并与微传感器进行了联合应用,芯片面积为2×2.5mm2,在5V电源电 |
语种 | 中文 |
公开日期 | 2012-01-06 |
源URL | [http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/52299] ![]() |
专题 | 上海微系统与信息技术研究所_中文期刊、会议、专利、成果_期刊论文 |
推荐引用方式 GB/T 7714 | 尹韬,杨海钢,张翀,等. 一种用于电容型体硅微陀螺的低噪声读出电路芯片[J]. 电子与信息学报,2010(01). |
APA | 尹韬,杨海钢,张翀,吴其松,焦继伟,&宓斌玮.(2010).一种用于电容型体硅微陀螺的低噪声读出电路芯片.电子与信息学报(01). |
MLA | 尹韬,et al."一种用于电容型体硅微陀螺的低噪声读出电路芯片".电子与信息学报 .01(2010). |
入库方式: OAI收割
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