一种基于QCM的液相混合微芯片的制作与应用
文献类型：期刊论文
| 作者 | 朱德峰 ; 许宝建 ; 程建功 ; 金庆辉 ; 赵建龙 ; 徐元森 |
| 刊名 | 功能材料与器件学报
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| 出版日期 | 2010 |
| 期号 | 02 |
| 关键词 | 无线传感器网络 目标识别 粒子群优化 模糊逻辑规则分类器 |
| ISSN号 | 1007-4252 |
| 中文摘要 | 生物定量检测中,生物样品是否均匀混合的研究意义重要。石英晶体微质量天平(QCM)因其振幅谐振机理,而具备优异的超声混合性能。本文结合微电子机械系统(MEMS)工艺,利用双面曝光、QCM预支撑和120℃长时间烘胶等改进方法,制备了尺寸可控、表面平整、结合紧密的SU-8芯片主体结构,利用聚二甲基硅氧烷(PDMS)封装获得完整的液相混合微芯片,最后利用罗丹明B荧光染料和SiO2纳米球对芯片的混合性能进行了表征。同时,本文提供了一种小体积、便捷、通用性好的液相混合微芯片的制备方法。 |
| 语种 | 中文 |
| 公开日期 | 2012-01-06 |
| 源URL | [http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/52314]  |
| 专题 | 上海微系统与信息技术研究所_中文期刊、会议、专利、成果_期刊论文 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 朱德峰,许宝建,程建功,等. 一种基于QCM的液相混合微芯片的制作与应用[J]. 功能材料与器件学报,2010(02). |
| APA | 朱德峰,许宝建,程建功,金庆辉,赵建龙,&徐元森.(2010).一种基于QCM的液相混合微芯片的制作与应用.功能材料与器件学报(02). |
| MLA | 朱德峰,et al."一种基于QCM的液相混合微芯片的制作与应用".功能材料与器件学报 .02(2010). |
入库方式： OAI收割
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