超导纳米线单光子探测器件的制备
文献类型：期刊论文
| 作者 | 杨晓燕 ; 尤立星 ; 张礼杰 ; 黄少铭 ; Mintu Mondal ; Sanjeev Kumar ; John Jesudasan ; Pratap Raychaudhuri |
| 刊名 | 低温与超导
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| 出版日期 | 2010 |
| 期号 | 11 |
| 关键词 | SQUID 探针显微镜 有限元分析 Fluxguide 半导体 |
| ISSN号 | 1001-7100 |
| 中文摘要 | 超导纳米线单光子探测器件(SNSPD)是超导单光子探测系统的核心器件。文中介绍了成功制备的基于5nm厚的NbN超导超薄薄膜的SNSPD器件。器件核心结构为150nm宽的纳米曲折线结构,纳米线条占空比为75%,面积为20μm×20μm。超导纳米线是利用电子束曝光(EBL)技术和反应离子刻蚀(RIE)等工艺技术制备的。所制备的SNSPD样品,在温度3.5K下的临界电流约12.9μA;在1310nm波长光波辐照,12.5μA的偏置电流下,探测效率约0.016%。 |
| 语种 | 中文 |
| 公开日期 | 2012-01-06 |
| 源URL | [http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/52333]  |
| 专题 | 上海微系统与信息技术研究所_中文期刊、会议、专利、成果_期刊论文 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 杨晓燕,尤立星,张礼杰,等. 超导纳米线单光子探测器件的制备[J]. 低温与超导,2010(11). |
| APA | 杨晓燕.,尤立星.,张礼杰.,黄少铭.,Mintu Mondal.,...&Pratap Raychaudhuri.(2010).超导纳米线单光子探测器件的制备.低温与超导(11). |
| MLA | 杨晓燕,et al."超导纳米线单光子探测器件的制备".低温与超导 .11(2010). |
入库方式： OAI收割
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