侧壁压阻式力传感器的研制与标定
文献类型：期刊论文
| 作者 | 陈涛 ; 孙立宁 ; 陈立国 ; 荣伟彬 ; 李昕欣 ; 王家畴 |
| 刊名 | 纳米技术与精密工程
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| 出版日期 | 2010 |
| 期号 | 03 |
| 关键词 | 谐振式微悬臂梁传感器 接口电路 锁相环 嵌入式频率电路 频率跟踪 |
| ISSN号 | 1672-6030 |
| 中文摘要 | 在对现有微操作中夹持力问题进行分析的基础上,提出了一种基于面内侧壁压阻的力传感器加工方法,成功地在MEMS微夹持器上集成了压阻式的力检测传感器,对夹持力的检测反馈实现了微操作的闭环控制.该方法利用离子注入工艺和深度反应离子刻蚀(DRIE)工艺相结合制作检测梁侧壁压阻,改善了侧壁压阻工艺与其他工艺间的兼容性问题.最后通过压电叠堆驱动平台结合精密电子秤对压阻传感器进行了标定.测试表明,这种微力传感器加工技术可以很好地与其他工艺相兼容,力传感器的灵敏度优于72V/N,分辨率优于3μN. |
| 语种 | 中文 |
| 公开日期 | 2012-01-06 |
| 源URL | [http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/52357]  |
| 专题 | 上海微系统与信息技术研究所_中文期刊、会议、专利、成果_期刊论文 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 陈涛,孙立宁,陈立国,等. 侧壁压阻式力传感器的研制与标定[J]. 纳米技术与精密工程,2010(03). |
| APA | 陈涛,孙立宁,陈立国,荣伟彬,李昕欣,&王家畴.(2010).侧壁压阻式力传感器的研制与标定.纳米技术与精密工程(03). |
| MLA | 陈涛,et al."侧壁压阻式力传感器的研制与标定".纳米技术与精密工程 .03(2010). |
入库方式： OAI收割
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