pn结对微机械p/n多晶Si热电堆性能的影响
文献类型：期刊论文
| 作者 | 李艳龙 ; 王翊 ; 周宏 ; 刘延祥 ; 李铁 ; 王跃林 |
| 刊名 | 光电子.激光
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| 出版日期 | 2010 |
| 期号 | 08 |
| 关键词 | 低轨通信卫星 频谱感知 信号分解 多分辨率分析 |
| ISSN号 | 1005-0086 |
| 中文摘要 | 为了研究pn结对微机械p/n多晶Si热电堆性能的影响,设计了两种结构的热电堆器件,采取不同的退火条件,对其结构进行了研究。实验结果表明,工艺过程中形成的pn结会使得热电堆的电阻变大,信号变小,退火条件决定了热电堆器件能否正常工作。因此,在设计热电堆时应该尽量避免pn结,可以采用p-Si/n-Si分离结构予以解决。 |
| 语种 | 中文 |
| 公开日期 | 2012-01-06 |
| 源URL | [http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/52421]  |
| 专题 | 上海微系统与信息技术研究所_中文期刊、会议、专利、成果_期刊论文 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 李艳龙,王翊,周宏,等. pn结对微机械p/n多晶Si热电堆性能的影响[J]. 光电子.激光,2010(08). |
| APA | 李艳龙,王翊,周宏,刘延祥,李铁,&王跃林.(2010).pn结对微机械p/n多晶Si热电堆性能的影响.光电子.激光(08). |
| MLA | 李艳龙,et al."pn结对微机械p/n多晶Si热电堆性能的影响".光电子.激光 .08(2010). |
入库方式： OAI收割
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