基于温度梯度驱动的液滴传输行为研究
文献类型：期刊论文
| 作者 | 高安然 ; 李铁 ; 刘翔 ; 焦继伟 ; 王跃林 |
| 刊名 | 测试技术学报
 |
| 出版日期 | 2010 |
| 期号 | 05 |
| 关键词 | MEMS陀螺 深反应离子刻蚀 非对称结构 局域掩膜效应 模态失配 |
| ISSN号 | 1671-7449 |
| 中文摘要 | 设计并制作了一种基于温度梯度驱动的液滴传输芯片,以实现对微液滴传输的精确控制.介绍了驱动原理和工艺流程,分析了仿真和实验结果.该芯片利用温度梯度下液滴表面形成的表面张力梯度来传输液滴,采用玻璃作为衬底,Ti为电阻加热器,Au为电极,PECVD氧化硅为介质层,碳氟聚合物为疏水层,实现了器件制作.芯片采用开放式结构,制作工艺简单,操作方便.测试结果表明,驱动功率为0.38 W时,去离子水和硅油的传输速率分别达到0.1 mm/s和1 mm/s. |
| 语种 | 中文 |
| 公开日期 | 2012-01-06 |
| 源URL | [http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/52442]  |
| 专题 | 上海微系统与信息技术研究所_中文期刊、会议、专利、成果_期刊论文 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 高安然,李铁,刘翔,等. 基于温度梯度驱动的液滴传输行为研究[J]. 测试技术学报,2010(05). |
| APA | 高安然,李铁,刘翔,焦继伟,&王跃林.(2010).基于温度梯度驱动的液滴传输行为研究.测试技术学报(05). |
| MLA | 高安然,et al."基于温度梯度驱动的液滴传输行为研究".测试技术学报 .05(2010). |
入库方式： OAI收割
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