视网膜前假体中柔性凸起微电极的研制
文献类型：期刊论文
| 作者 | 邢玉梅 ; 惠春 ; 李刚 ; 赵建龙 |
| 刊名 | 纳米技术与精密工程
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| 出版日期 | 2010 |
| 期号 | 01 |
| 关键词 | 半导体技术 低温键合 气密性封装 苯并环丁烯(BCB) 气密性检测 |
| ISSN号 | 1672-6030 |
| 中文摘要 | 采用聚对二甲苯(Parylene C)作为结构材料,借助微细加工技术设计并制作了按6×6矩阵排布的柔性凸起微电极阵列.微电极直径为80μm,引线线宽40μm,电极间距为280μm,引线间距为80μm.电极位点高度约为10μm,呈明显的圆滑凸起结构特征.电极和引线表面均平整光滑,轮廓清晰,结构完好.阻抗测试结果表明:随着频率的增加,凸起微电极的阻抗呈下降趋势,显示出明显的高通特性;1 kHz时凸起微电极的阻抗约为10 kΩ,较具有相同基底面积的平面电极约低30%,有助于提高电极的信噪比,可望用于视网膜前假体 |
| 语种 | 中文 |
| 公开日期 | 2012-01-06 |
| 源URL | [http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/52471]  |
| 专题 | 上海微系统与信息技术研究所_中文期刊、会议、专利、成果_期刊论文 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 邢玉梅,惠春,李刚,等. 视网膜前假体中柔性凸起微电极的研制[J]. 纳米技术与精密工程,2010(01). |
| APA | 邢玉梅,惠春,李刚,&赵建龙.(2010).视网膜前假体中柔性凸起微电极的研制.纳米技术与精密工程(01). |
| MLA | 邢玉梅,et al."视网膜前假体中柔性凸起微电极的研制".纳米技术与精密工程 .01(2010). |
入库方式： OAI收割
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