新型锯齿流道压电微泵加工制作及试验(英文)
文献类型：期刊论文
| 作者 | 关炎芳 ; 张国贤 ; 俞正寅 |
| 刊名 | 纳米技术与精密工程
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| 出版日期 | 2010 |
| 期号 | 02 |
| 关键词 | 蜂窝系统 同频组网 干扰协调 小区规划 合作传输 |
| ISSN号 | 1672-6030 |
| 中文摘要 | 以硅作为基底材料,采用深反应离子刻蚀(DRIE)技术加工出含有新型锯齿流道和传统锥形管的微泵,整个微泵结构为聚二甲基硅氧烷(PDMS)-玻璃-硅-PDMS式.采用阳极键合方法对硅和玻璃之间进行封装.PDMS和玻璃、PDMS和硅之间的封装采用紫外线照射方法,使PDMS表面改性,从而达到不可逆密封.分别对两种微泵在不同电压、频率以及波形驱动下的最大流量(MFR)和最大压力头(MPH)进行测试与比较,发现在固定频率下,两个微泵的最大流量和最大压力头均随驱动电压升高而升高,并且正弦波驱动下的效果要好于其他两种驱动 |
| 语种 | 中文 |
| 公开日期 | 2012-01-06 |
| 源URL | [http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/52513]  |
| 专题 | 上海微系统与信息技术研究所_中文期刊、会议、专利、成果_期刊论文 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 关炎芳,张国贤,俞正寅. 新型锯齿流道压电微泵加工制作及试验(英文)[J]. 纳米技术与精密工程,2010(02). |
| APA | 关炎芳,张国贤,&俞正寅.(2010).新型锯齿流道压电微泵加工制作及试验(英文).纳米技术与精密工程(02). |
| MLA | 关炎芳,et al."新型锯齿流道压电微泵加工制作及试验(英文)".纳米技术与精密工程 .02(2010). |
入库方式： OAI收割
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