静电力驱动的液滴数字传输芯片
文献类型：期刊论文
| 作者 | 皋华敏 ; 李铁 ; 许磊 ; 刘翔 ; 王翊 ; 周萍 ; 王跃林 |
| 刊名 | 功能材料与器件学报
 |
| 出版日期 | 2010 |
| 期号 | 02 |
| 关键词 | 相控阵天线 数字波束形成 遗传算法 DFT滤波器组 |
| ISSN号 | 1007-4252 |
| 中文摘要 | 设计制作了一种基于静电力驱动的数字微流芯片。通过优化芯片的结构,采用硅为衬底,TiW/Au为微电极阵列,较薄的氮化硅和碳氟聚合物为介质层和疏水膜层,驱动电压大为降低。目前已成功实现了在30V的驱动电压下,对去离子水液滴的两维驱动,液滴移动速度可达96mm/s,同时也实现了对0.9%质量浓度NaCl溶液液滴的驱动。分析结果验证了液滴是在静电力的作用下实现移动。 |
| 语种 | 中文 |
| 公开日期 | 2012-01-06 |
| 源URL | [http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/52525]  |
| 专题 | 上海微系统与信息技术研究所_中文期刊、会议、专利、成果_期刊论文 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 皋华敏,李铁,许磊,等. 静电力驱动的液滴数字传输芯片[J]. 功能材料与器件学报,2010(02). |
| APA | 皋华敏.,李铁.,许磊.,刘翔.,王翊.,...&王跃林.(2010).静电力驱动的液滴数字传输芯片.功能材料与器件学报(02). |
| MLA | 皋华敏,et al."静电力驱动的液滴数字传输芯片".功能材料与器件学报 .02(2010). |
入库方式： OAI收割
浏览0
下载0
收藏0
其他版本
除非特别说明，本系统中所有内容都受版权保护，并保留所有权利。