以金属钛为界面层的非晶金刚石薄膜多层材料、制备方法及其用途
文献类型：专利
| 作者 | 柳襄怀 ; 王曦 ; 茅东升 ; 郑志宏 ; 杨石奇 ; 李炜 ; 李琼 ; 徐静芳 |
| 发表日期 | 1999 |
| 专利国别 | 中国 |
| 专利号 | CN1227162 |
| 专利类型 | 发明 |
| 权利人 | 中国科学院上海冶金研究所 |
| 中文摘要 | 本发明涉及一种以金属钛为界面层的非晶金刚石薄膜材料，是指在基体材料与非晶金刚石薄膜之间沉积一层金属钛而制备的多层材料。该材料或经热处理后，能使金属钛与非晶金刚石薄膜之间形成一层碳化钛过渡层，造成金属钛与非晶金刚石薄膜之间良好的接触，并降低了界面的势垒高度，同时使结合力得到增强，增加非晶金刚石薄膜的使用寿命，该多层材料可广泛地用作微电子及其平板显示器等新型功能器件的部件。 |
| 是否PCT专利 | 是 |
| 公开日期 | 1999-09-01 |
| 申请日期 | 1998-12-04 |
| 语种 | 中文 |
| 专利申请号 | 98122070.3 |
| 专利代理 | 邬震中 ; 高毓秋 |
| 源URL | [http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/52687]  |
| 专题 | 上海微系统与信息技术研究所_中文期刊、会议、专利、成果_冶金所专利 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 柳襄怀,王曦,茅东升,等. 以金属钛为界面层的非晶金刚石薄膜多层材料、制备方法及其用途. CN1227162. 1999-01-01. |
入库方式： OAI收割
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