硅－金属双层结构薄膜热电堆
文献类型：专利
| 作者 | 沈德新 ; 卢建国 ; 张保安 ; 戈肖鸿 ; 杨艺榕 ; 董荣康 |
| 发表日期 | 1999 |
| 专利国别 | 中国 |
| 专利号 | CN1235273 |
| 专利类型 | 发明 |
| 权利人 | 中国科学院上海冶金研究所 |
| 中文摘要 | 本发明涉及一种硅－金属双层结构薄膜热电堆。主要由硅片衬底、衬底一面上的Ｊ形或Ｌ形多晶硅或金属薄膜条、隔离绝缘层、隔离层上面的Ｌ形或Ｊ形金属或多晶硅薄膜条、测量结点和串连参考结点、输出端和衬底另一面的空穴腔构成。本发明采用分层立体设计，不但拓宽了热电堆中布置元件的空间，使微小型化薄膜热电堆尺寸更小，串联的热电偶元件数量更多，而且有效地提高了输出量和性能，是一种设计简练、实用的薄膜热电堆。 |
| 是否PCT专利 | 是 |
| 公开日期 | 1999-11-17 |
| 申请日期 | 1999-05-05 |
| 语种 | 中文 |
| 专利申请号 | 99113682.9 |
| 专利代理 | 季良赳 |
| 源URL | [http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/52692]  |
| 专题 | 上海微系统与信息技术研究所_中文期刊、会议、专利、成果_冶金所专利 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 沈德新,卢建国,张保安,等. 硅－金属双层结构薄膜热电堆. CN1235273. 1999-01-01. |
入库方式： OAI收割
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