微机械热电堆红外探测器的制造方法
文献类型：专利
| 作者 | 熊斌 ; 徐峥谊 ; 王跃林 ; 王渭源 ; 戈肖鸿 |
| 发表日期 | 2001 |
| 专利国别 | 中国 |
| 专利号 | CN1281262 |
| 专利类型 | 发明 |
| 权利人 | 中国科学院上海冶金研究所 |
| 中文摘要 | 一种微机械热电堆红外探测器的制造方法，最为关键的工艺是采用正面光刻技术，制造出周围用空气层减小热耗散的悬臂结构，且应用绝缘体上单晶硅材料，不仅简化了微机械热电堆红外探测器的制造工艺，提高了热电转换效率，而且也使制造出来的探测器具有较高的灵敏度。 |
| 是否PCT专利 | 是 |
| 公开日期 | 2001-01-24 |
| 申请日期 | 2000-06-07 |
| 语种 | 中文 |
| 专利申请号 | 00116388.4 |
| 专利代理 | 费开逵 |
| 源URL | [http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/52729]  |
| 专题 | 上海微系统与信息技术研究所_中文期刊、会议、专利、成果_冶金所专利 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 熊斌,徐峥谊,王跃林,等. 微机械热电堆红外探测器的制造方法. CN1281262. 2001-01-01. |
入库方式： OAI收割
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