一种射频微电子机械单刀双掷开关及其制造方法
文献类型：专利
| 作者 | 孙晓玮 ; 李小卫 ; 程知群 ; 王嘉宽 ; 郝幼申 ; 姚文澜 |
| 发表日期 | 2001 |
| 专利国别 | 中国 |
| 专利号 | CN1311158 |
| 专利类型 | 发明 |
| 权利人 | 中国科学院上海冶金研究所 |
| 中文摘要 | 一种射频微电子机械单刀双掷开关及其制造方法，属于微电子机械系统领域。每个单刀双掷开关中共有由三条共平面波导，一条作为信号输入端，另二条和信号输入端相连形成一种一分为二的分支结构。每个分支线上各有一个电容和一个外加电压端。分支线上两条平面波导各构成一个微机械开关(MEMS)，通过分支线上外加电压端交替施加电压实现单刀双掷开关的功能，从而实现隔离度高、插入损耗小而又体积小、成本低的目的。 |
| 是否PCT专利 | 是 |
| 公开日期 | 2001-09-05 |
| 申请日期 | 2001-03-23 |
| 语种 | 中文 |
| 专利申请号 | 01105783.1 |
| 专利代理 | 潘振∴ |
| 源URL | [http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/52742]  |
| 专题 | 上海微系统与信息技术研究所_中文期刊、会议、专利、成果_冶金所专利 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 孙晓玮,李小卫,程知群,等. 一种射频微电子机械单刀双掷开关及其制造方法. CN1311158. 2001-01-01. |
入库方式： OAI收割
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