自对准腐蚀制作微结构的方法及其制造的红外探测器
文献类型：专利
| 作者 | 徐峥谊 ; 熊斌 ; 王跃林 |
| 发表日期 | 2001 |
| 专利国别 | 中国 |
| 专利号 | CN1299964 |
| 专利类型 | 发明 |
| 权利人 | 中国科学院上海冶金研究所 |
| 中文摘要 | 本发明涉及一种自对准腐蚀制作微结构的方法及其制造的微机械热电堆红外探测器，属于红外探测领域。最为关键的工艺是采用自对准腐蚀技术，制造出周围用空气层减小热耗散、增加热阻的栅状热偶对悬臂结构，不仅简化了微机械热电堆红外探测器的制造工艺，提高了热电转换效率，而且也使制造出来的探测器具有较高的灵敏度。 |
| 是否PCT专利 | 是 |
| 公开日期 | 2001-06-20 |
| 申请日期 | 2000-10-26 |
| 语种 | 中文 |
| 专利申请号 | 00125862.1 |
| 专利代理 | 潘振∴ |
| 源URL | [http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/52756]  |
| 专题 | 上海微系统与信息技术研究所_中文期刊、会议、专利、成果_冶金所专利 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 徐峥谊,熊斌,王跃林. 自对准腐蚀制作微结构的方法及其制造的红外探测器. CN1299964. 2001-01-01. |
入库方式： OAI收割
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