斜拉悬梁支撑膜结构的微机械热电堆红外探测器阵列
文献类型：专利
| 作者 | 徐峥谊 ; 熊斌 ; 王跃林 |
| 发表日期 | 2002 |
| 专利国别 | 中国 |
| 专利号 | CN1333569 |
| 专利类型 | 发明 |
| 权利人 | 中国科学院上海冶金研究所 |
| 中文摘要 | 本发明涉及一种具有斜拉悬梁支撑膜结构的微机械热电堆红外探测器阵列及制造方法。结构特征是支撑膜与框体呈45度角，周围被气氛介质包围，一端固支，另一端与基体两点相连。它又可分为分立型和单腐蚀孔型二种，前者是独立的腐蚀孔结构，腐蚀孔之间由硅衬底相隔；后者为共用一个腐蚀孔结构，悬梁间由腐蚀孔隔开。制造特征是先沉积Si3N4层，再沉积SiO2层，再沉积多晶硅层，离子掺杂注入，光刻，腐蚀，等离子刻蚀并利用硅各相腐蚀剂腐蚀，去掉体硅，形成侧壁为(111) |
| 是否PCT专利 | 是 |
| 公开日期 | 2002-01-30 |
| 申请日期 | 2001-08-03 |
| 语种 | 中文 |
| 专利申请号 | 01126401.2 |
| 专利代理 | 潘振甦 |
| 源URL | [http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/52766]  |
| 专题 | 上海微系统与信息技术研究所_中文期刊、会议、专利、成果_冶金所专利 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 徐峥谊,熊斌,王跃林. 斜拉悬梁支撑膜结构的微机械热电堆红外探测器阵列. CN1333569. 2002-01-01. |
入库方式： OAI收割
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