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半导体发光器件的发射腔及其工艺

文献类型:专利

作者孙体忠
发表日期1986
专利国别中国
专利号CN85100503
专利类型发明
权利人中国科学院上海冶金研究所
中文摘要本发明是半导体发光器件的反射腔及其工艺,属于半导体光电器件,特别是半导体发光器件的领域,它是利用单晶硅的各向异性腐蚀特性在单晶硅的(100)晶面上形成各种立方或长方锥形反射腔,再镀上一层金属(如Au,Ag或Al等)作为金属镜面,从而可制得各种LED指示灯,数码管,5×7字符显示或LED列阵等.本发明的反射腔工艺与通常的半导体器件工艺相容,用这种反射腔制得的LED器件,可使输出光强增加,提高发光效率.
是否PCT专利
公开日期1986-09-17
申请日期1985-04-01
语种中文
专利申请号85100503
专利代理季良赳
源URL[http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/52788]  
专题上海微系统与信息技术研究所_中文期刊、会议、专利、成果_冶金所专利
推荐引用方式
GB/T 7714
孙体忠. 半导体发光器件的发射腔及其工艺. CN85100503. 1986-01-01.

入库方式: OAI收割

来源:上海微系统与信息技术研究所

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