管芯测量观察装置
文献类型：专利
| 作者 | 陈瑞璋 |
| 发表日期 | 1988 |
| 专利国别 | 中国 |
| 专利号 | CN87201004 |
| 专利类型 | 发明 |
| 权利人 | 中国科学院上海冶金研究所 |
| 中文摘要 | 本实用新型是半导体激光或发光二极管管芯的测量观察装置，属于半导体光辐射器件制造或处理时的测量设备。它由抽气泵，通气泵阀，使管芯绕轴和自身作360°旋转和上下移动的机械调节机构及观察显微镜组成。本实用新型配以测量仪器可以测量激光器或发光二极管的电学特性，电光特性，也可观察激光二极管管芯的解理腔面，通气泵阀可使管芯方便的吸附在吸片针上及使管芯自然落入管芯盒中。是LD与LED研究制造过程中的有效监测工具。 |
| 是否PCT专利 | 是 |
| 公开日期 | 1988-05-18 |
| 申请日期 | 1987-02-05 |
| 语种 | 中文 |
| 专利申请号 | 87201004 |
| 专利代理 | 季良赳 ; 沈德新 |
| 源URL | [http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/52840]  |
| 专题 | 上海微系统与信息技术研究所_中文期刊、会议、专利、成果_冶金所专利 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 陈瑞璋. 管芯测量观察装置. CN87201004. 1988-01-01. |
入库方式： OAI收割
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