微机械系统材料的应变测量装置
文献类型：专利
| 作者 | 陆德仁 ; 朱文玉 ; 荣刚 |
| 发表日期 | 1994 |
| 专利国别 | 中国 |
| 专利号 | CN2154460 |
| 专利类型 | 发明 |
| 权利人 | 中国科学院上海冶金研究所 |
| 中文摘要 | 本实用新型微机械系统材料的应变测量装置，特别是用于几微米到几百微米尺寸材料的应变测量，属于用于计量固体形变的以机械方法为特征的计量设备，包括探针及长焦距显微镜。其特征在于有可在空间四个方位微调的探针台及测量微力大小及位移的精密天平。可用天平砝码、柔性探头的液体压力或小型电磁铁对试样施力。是一种技术上易于实现、成本低、操作方便的测定微机械系统材料或元件力学性能的测量装置。 |
| 是否PCT专利 | 是 |
| 公开日期 | 1994-01-26 |
| 申请日期 | 1993-04-17 |
| 语种 | 中文 |
| 专利申请号 | 93225564.7 |
| 专利代理 | 季良赳 |
| 源URL | [http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/52867]  |
| 专题 | 上海微系统与信息技术研究所_中文期刊、会议、专利、成果_冶金所专利 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 陆德仁,朱文玉,荣刚. 微机械系统材料的应变测量装置. CN2154460. 1994-01-01. |
入库方式： OAI收割
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