一种自动掉电保护的弯曲梁微机械光开关
文献类型：专利
| 作者 | 王浙辉 ; 王东平 ; 王跃林 |
| 发表日期 | 2002 |
| 专利国别 | 中国 |
| 专利号 | CN2472244 |
| 专利类型 | 发明 |
| 权利人 | 中国科学院上海冶金研究所 |
| 中文摘要 | 本实用新型涉及一种自动掉电保护的弯曲梁微机械光开关，属于微机械领域，其特征是它由弯曲梁锚点、弯曲梁、镜子、平面电极或叉指电极以及用来固定光纤的V形槽构成。镜子悬挂于弯曲梁，随弯曲梁运动，梁处于稳定态时，镜子也处于稳定态，开关稳定性好，和集成电路工艺兼容，适于大批量生产。 |
| 是否PCT专利 | 是 |
| 公开日期 | 2002-01-16 |
| 申请日期 | 2001-03-16 |
| 语种 | 中文 |
| 专利申请号 | 01211156.2 |
| 专利代理 | 潘振甦 |
| 源URL | [http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/52908]  |
| 专题 | 上海微系统与信息技术研究所_中文期刊、会议、专利、成果_冶金所专利 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 王浙辉,王东平,王跃林. 一种自动掉电保护的弯曲梁微机械光开关. CN2472244. 2002-01-01. |
入库方式： OAI收割
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