一种量程可达20万m/s2的微机械加速度传感器
文献类型：专利
| 作者 | 黄全平 ; 陆德仁 |
| 发表日期 | 2002 |
| 专利国别 | 中国 |
| 专利号 | CN2503487 |
| 专利类型 | 发明 |
| 权利人 | 中国科学院上海冶金研究所 |
| 中文摘要 | 本实用新型涉及一种量程可达20万m/s2的微机械加速度传感器，属于微电子机械系统领域，其特征在于它是由芯片和厚度比它稍厚的矩形框构成，芯片封装在框架中，并用玻璃盖板上下与其键合而成。芯片采用薄板－岛结构，主要由锚区、支撑质量块的悬空薄板、质量块、敏感电阻构成的。起弹性梁作用的薄板为单晶硅薄层，其厚度与量程有关；敏感电阻设计成单一直线状，长度可接近薄板宽。 |
| 是否PCT专利 | 是 |
| 公开日期 | 2002-07-31 |
| 申请日期 | 2001-04-06 |
| 语种 | 中文 |
| 专利申请号 | 01238754.1 |
| 专利代理 | 潘振甦 |
| 源URL | [http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/52911]  |
| 专题 | 上海微系统与信息技术研究所_中文期刊、会议、专利、成果_冶金所专利 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 黄全平,陆德仁. 一种量程可达20万m/s2的微机械加速度传感器. CN2503487. 2002-01-01. |
入库方式： OAI收割
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