基于聚酰亚胺衬底的柔性MEMS技术及在传感器中的应用研究
文献类型：学位论文
| 作者 | 肖素艳 |
| 学位类别 | 博士 |
| 答辩日期 | 2008 |
| 授予单位 | 中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所） |
| 导师 | 李昕欣 |
| 关键词 | 柔性MEMS技术 聚酰亚胺（PI） 聚二甲基硅氧烷（PDMS） 铂薄膜电阻温度传感器 触觉力传感器 |
| 学位专业 | 微电子学与固体电子学 |
| 中文摘要 | 传统的MEMS器件大多制作在硅、玻璃等刚性衬底上，然而在实际应用中，对可挠性好、能贴附在任意曲面或不规则物体表面的类皮肤型器件的需求日益增多。因此，研究人员提出将MEMS器件制作在柔性衬底上以实现各种非平面物体表面物理量的实时探测。聚酰亚胺(PI) 和聚二甲基硅氧烷(PDMS)因具有独特的物理和化学性能，是制造柔性MEMS器件的理想材料。因此，对PI和PDMS在柔性MEMS应用中的关键技术的研究具有重要的现实意义。 本文首先分别对PI和PDMS预聚物在MEMS应用中的关键技术进行了研究，包括液态预聚物的涂 |
| 语种 | 中文 |
| 公开日期 | 2012-03-06 |
| 源URL | [http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/82234]  |
| 专题 | 上海微系统与信息技术研究所_微系统、冶金所学位论文_学位论文 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 肖素艳. 基于聚酰亚胺衬底的柔性MEMS技术及在传感器中的应用研究[D]. 中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所） . 2008. |
入库方式： OAI收割
浏览0
下载0
收藏0
其他版本
除非特别说明，本系统中所有内容都受版权保护，并保留所有权利。