高声速衬底压电薄膜的制备及声表面波器件的研制探索
文献类型：学位论文
| 作者 | 刘彦松 |
| 学位类别 | 硕士 |
| 答辩日期 | 2000 |
| 授予单位 | 中国科学院上海冶金研究所 |
| 导师 | 王连卫 |
| 关键词 | 声表面波 脉冲激光淀积 氧化锌 氯化铝 高声速衬底 |
| 学位专业 | 微电子学与固体电子学 |
| 中文摘要 | 随着现代电子设备信息处理量的扩大，通信载波频率必须向更高频 的频率区移动，例如正在开发的(9000M/1.8GHz)GMS系统。声表面波(SAW) 滤波器是现代无线移动通信系统的关键部件之一，其工作频率f是由材 料的声表面波传播速度V和叉指电极的周期L决定的，即f＝V/L；由于 所采用的材料及加工工艺的限制，目前的声表面波器件，其工作频率很 难达到 GHz。金刚石和 SiC具有非常高的声表面波传播速度，以它们为 衬底在现有的工艺条件下很容易制作出GHz 的薄膜型SAW滤波器，因 此利用金刚石和SiC研制G |
| 语种 | 中文 |
| 公开日期 | 2012-03-06 |
| 源URL | [http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/82239]  |
| 专题 | 上海微系统与信息技术研究所_微系统、冶金所学位论文_学位论文 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 刘彦松 . 高声速衬底压电薄膜的制备及声表面波器件的研制探索[D]. 中国科学院上海冶金研究所 . 2000. |
入库方式： OAI收割
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