真空磁过滤弧沉积非晶金刚石薄膜及其在生物医学材料领域中的应用研究
文献类型：学位论文
| 作者 | 俞柳江 |
| 学位类别 | 硕士 |
| 答辩日期 | 2000 |
| 授予单位 | 中国科学院上海冶金研究所 |
| 导师 | 王曦 |
| 关键词 | 真空磁过滤弧沉积:7507 金刚石薄膜:5321 材料领域:2760 生物医学:2186 应用研究:1238 无氢非晶金刚石薄膜:876 血液相容性:459 热解碳:457 离子源:330 液氮冷却系统:285 |
| 学位专业 | 材料物理与化学 |
| 中文摘要 | 本论文在国内第一台真空磁过滤弧沉积（Filtered arc deposition，FAD）系统 的基础上，以制备优质非晶金刚石薄膜为目标，对设备进行了优化改造。添加了 射频电源，以便在绝缘基体上沉积薄膜；添加了液氮冷却系统，能够在77K左右 的低温下进行薄膜制备；添加了无灯丝的辅助离子源，能进行离子辅助沉积，以 及对薄膜进行掺杂，特别是因为离子源为无灯丝离子源，因而可进行氧掺杂。 利用FAD系统在室温条件下制备了致密的无氢非晶金刚石薄膜。对非晶金 刚石薄膜的防水汽透过特性进行了探索研究。加速实验结果表明 |
| 语种 | 中文 |
| 公开日期 | 2012-03-06 |
| 源URL | [http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/82242]  |
| 专题 | 上海微系统与信息技术研究所_微系统、冶金所学位论文_学位论文 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 俞柳江 . 真空磁过滤弧沉积非晶金刚石薄膜及其在生物医学材料领域中的应用研究[D]. 中国科学院上海冶金研究所 . 2000. |
入库方式： OAI收割
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