基于掩膜—无掩膜腐蚀技术的AFM探针制作方法研究
文献类型：学位论文
| 作者 | 韩建强 |
| 学位类别 | 博士 |
| 答辩日期 | 2006 |
| 授予单位 | 中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所） |
| 导师 | 李昕欣 |
| 关键词 | 原子力显微镜 探针 无掩膜腐蚀 微电子机械系统 |
| 学位专业 | 电子科学与技术 |
| 中文摘要 | 自从20世纪80年代以来，原子力显微镜(Atomic Force Microscope，AFM)已成为表征材料微区表面形貌的有力研究工具。对力敏感的易弯曲的悬臂梁上的针尖对样品表面做光栅式扫描，针尖与样品表面间的相互作用力使悬臂梁产生微小的弯曲，检测这种弯曲信号并用作反馈，可以获得样品表面形貌。由悬臂梁与针尖组成的AFM探针是AFM的关键部件，AFM探针的结构和性能对AFM仪器的性能、分辨率和扫描图像质量有极大的影响。因此AFM探针的制作技术一直是人们研究的重要课题。 AFM探针可通过表面微机械技术和体微 |
| 语种 | 中文 |
| 公开日期 | 2012-03-06 |
| 源URL | [http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/82275]  |
| 专题 | 上海微系统与信息技术研究所_微系统、冶金所学位论文_学位论文 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 韩建强 . 基于掩膜—无掩膜腐蚀技术的AFM探针制作方法研究[D]. 中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所） . 2006. |
入库方式： OAI收割
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