MEMS原子钟理论、设计及Cs/Rb气体盒气密性封装研究
文献类型：学位论文
| 作者 | 刘玉菲 |
| 学位类别 | 硕士 |
| 答辩日期 | 2005 |
| 授予单位 | 中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所） |
| 导师 | 吴亚明 |
| 关键词 | 芯片级原子钟 低温键合 气密性封装 苯并环丁烯(BCB) 渗流模型 |
| 学位专业 | 微电子学与固体电子学 |
| 中文摘要 | 原子钟自1949年出现以来，一直沿着高精度和微型化两个方向高速的发展。微型原子钟在通信、交通、电力、金融、军事国防、航空、航天以及基准物理量的测量等领域有着广泛的应用前景和应用需求。微型芯片级原子钟的广泛应用将会产生深远的甚至革命性的影响，将会带来良好的社会效益和经济效益。由于其广泛的应用领域和使用价值，芯片级原子钟的研究成为近年来各国科学技术研究的一个热点课题。芯片级原子钟是量子力学、波谱学、高频电路技术、MEMS技术、激光稳频技术等学科交叉的产物，是一个系统级的科研课题。 本论文围绕芯片级原子钟的理论 |
| 语种 | 中文 |
| 公开日期 | 2012-03-06 |
| 源URL | [http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/82281]  |
| 专题 | 上海微系统与信息技术研究所_微系统、冶金所学位论文_学位论文 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 刘玉菲 . MEMS原子钟理论、设计及Cs/Rb气体盒气密性封装研究[D]. 中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所） . 2005. |
入库方式： OAI收割
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