低量程电容式压力传感器及相关技术研究
文献类型：学位论文
| 作者 | 李忻 |
| 学位类别 | 硕士 |
| 答辩日期 | 2002 |
| 授予单位 | 中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所） |
| 导师 | 王跃林 |
| 关键词 | 微电子机械系统 微差压压力传感器 可动薄膜 复合薄膜 伺服 结构 |
| 学位专业 | 微电子学与固体电子学 |
| 中文摘要 | 基于MEMS(微电子机械系统)加工技术制作的传感器成本低廉、集成度高、可靠性好。相对目前已经商业化的压阻式传感器而言，电容式传感器具有高的灵敏度和低的温度效应。本文中的低量程压力传感器采用电容结构，利用外加压力作用下电容间距变化引起的电容改变来检测压力大小。本论文则围绕这种微差压传感器的理论基础，制作方法以及测试进行深入研究。 可动薄膜是电容式传感器的核心部分，因此对薄膜结构的分析是非常重要的。结合有限元分析软件，对几种不同结构薄膜的工作特性进行理论分析，综合考虑灵敏度、工作线性度和工艺实现等因素，采用厚 |
| 语种 | 中文 |
| 公开日期 | 2012-03-06 |
| 源URL | [http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/82289]  |
| 专题 | 上海微系统与信息技术研究所_微系统、冶金所学位论文_学位论文 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 李忻 . 低量程电容式压力传感器及相关技术研究[D]. 中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所） . 2002. |
入库方式： OAI收割
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