基于滑膜阻尼效应的音叉式微机械陀螺研究
文献类型：学位论文
| 作者 | 陈永 |
| 学位类别 | 博士 |
| 答辩日期 | 2004 |
| 授予单位 | 中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所） |
| 导师 | 王跃林 |
| 关键词 | 微机电系统 微机械陀螺 滑膜阻尼 机械解耦 等效电路模型 |
| 学位专业 | 微电子与固体电子学 |
| 中文摘要 | 与传统陀螺相比，微机械陀螺具有体积小、重量轻、成本低等特点，因而具有广泛的应用前景。在微机械陀螺的研究中，陀螺灵敏度和分辨率的提高始终是人们追求的主要目标。本论文工作是针对一种具有实用化目标的新型结构的微机械陀螺进行研究，包括器件结构的原理设计、工艺制作、封装和性能测试等。 在对振动式微机械陀螺的基本原理和动力学方程进行分析的基础上，讨论了工作频率、Q值和驱动力矩与陀螺灵敏度及其工作带宽的关系。讨论了微机械陀螺中的空气阻尼、正交误差、寄生Coriolis力以及轴向加速度干扰等问题。 在总结理论分析结果和前 |
| 语种 | 中文 |
| 公开日期 | 2012-03-06 |
| 源URL | [http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/82294]  |
| 专题 | 上海微系统与信息技术研究所_微系统、冶金所学位论文_学位论文 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 陈永 . 基于滑膜阻尼效应的音叉式微机械陀螺研究[D]. 中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所） . 2004. |
入库方式： OAI收割
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