硅基集成纳机电探针技术的研究
文献类型：学位论文
| 作者 | 杨尊先 |
| 学位类别 | 博士 |
| 答辩日期 | 2004 |
| 授予单位 | 中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所） |
| 导师 | 李昕欣 |
| 关键词 | 纳电子机械系统 纳机电探针 高密度存储 压阻敏感器 电热针尖 |
| 学位专业 | 微电子与固体电子学 |
| 中文摘要 | 面向下一代超高密度信息存储技术，本论文致力于研究一种新型的一维纳机电探针器件，该器件采用微电阻加热写入和压阻敏感读取技术，并利用先进的微纳机械加工工艺将微电阻加热器与压阻敏感器集成于同一微型超薄悬臂梁上。它既不同于使用两个相互独立的悬臂梁结构探针分别进行数据的读和写，也不同于用同一电热针尖进行数据的读和写。在研究了等截面悬臂梁结构纳机电探针之后，本文还研究了在悬臂梁自由端集成了加热电阻的V型和U型悬臂梁维构纳机电探针。 理论上，建立了一套适用于该器件的电热理论模型，采用理论计算与有限元模拟相结合的方法实现 |
| 语种 | 中文 |
| 公开日期 | 2012-03-06 |
| 源URL | [http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/82305]  |
| 专题 | 上海微系统与信息技术研究所_微系统、冶金所学位论文_学位论文 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 杨尊先 . 硅基集成纳机电探针技术的研究[D]. 中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所） . 2004. |
入库方式： OAI收割
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