基于MEMS技术的光纤声传感器研究
文献类型：学位论文
| 作者 | 许晓昕 |
| 学位类别 | 硕士 |
| 答辩日期 | 2007 |
| 授予单位 | 中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所） |
| 导师 | 吴亚明 |
| 关键词 | 声传感器 光纤传感 MEMS Pyrex7740深刻蚀 F-P腔 衍射光栅 |
| 学位专业 | 微电子学与固体电子学 |
| 中文摘要 | 微机械电子系统(MEMS)与光纤传感技术的结合给声传感器的设计和研制带来了全新的发展方向——MEMS光纤声传感器。与传统传声器相比，MEMS光纤声传感器具有灵敏度高，探测端电绝缘，抗电磁干扰，尺寸小，质量轻，适合长距离传输，易复用等明显优势，在很多特殊场合有良好应用前景。本文提出了利用MEMS工艺制作的光纤声传感及光纤超声传感器，从制作工艺上进行了探索。 本文首先提出一种法布里-泊罗(F-P)干涉型硅微光纤传声器。该器件结构设计力求提高目前可听频段传声器性能。文中阐述了器件的工作原理和结构优点。对F-P腔 |
| 语种 | 中文 |
| 公开日期 | 2012-03-06 |
| 源URL | [http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/82312]  |
| 专题 | 上海微系统与信息技术研究所_微系统、冶金所学位论文_学位论文 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 许晓昕 . 基于MEMS技术的光纤声传感器研究[D]. 中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所） . 2007. |
入库方式： OAI收割
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