MEMS电容式加速度传感器相关检测技术研究
文献类型：学位论文
| 作者 | 吴浩 |
| 学位类别 | 硕士 |
| 答辩日期 | 2006 |
| 授予单位 | 中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所） |
| 导师 | 车录锋 |
| 关键词 | 电容式加速度传感器 等效电学模型 调制解调 力平衡 可靠工作范围 |
| 学位专业 | 微电子学与固体电子学 |
| 中文摘要 | 基于MEMS加速度传感器的地震检波器在频带、动态范围和轴向抗干扰性等性能指标上优于传统动圈式检波器。针对高分辨率、高保真、高精度地震勘探这一应用需求，需要进一步提高MEMS加速度传感器的性能。而对于电容式加速度传感器，检测电容的变化多在fF～aF量级，这对检测电路提出了很高的要求，本论文针对微机械电容式加速度传感器相关检测技术进行了深入研究。 首先，根据电容式加速度传感器的动力学方程及其随加速度变化的差动电容结构，建立了等效的电学模型，实现了传感器和接口电路整体模拟的可能。通过对传感器等效电学模型的模拟， |
| 语种 | 中文 |
| 公开日期 | 2012-03-06 |
| 源URL | [http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/82317]  |
| 专题 | 上海微系统与信息技术研究所_微系统、冶金所学位论文_学位论文 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 吴浩 . MEMS电容式加速度传感器相关检测技术研究[D]. 中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所） . 2006. |
入库方式： OAI收割
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