深亚微米高压集成电路中LDMOS的制造与工艺集成
文献类型：学位论文
| 作者 | 王俊 |
| 学位类别 | 博士 |
| 答辩日期 | 2008 |
| 授予单位 | 中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所） |
| 导师 | 邹世昌 |
| 关键词 | 高压器件 LDMOS LCD驱动电路 衬底电流 无缝整合 |
| 学位专业 | 微电子学与固体电子学 |
| 中文摘要 | 本文依托于上海宏力半导体制造有限公司“0.18/0.15微米30伏液晶显示器驱动电路制造工艺”项目，介绍了液晶显示器驱动电路中高压器件的生产、工艺整合与优化。液晶显示器驱动电路近年来开始朝单芯片系统方向发展：将驱动输出（高压部分）与逻辑控制，静态存储器等集成在一块芯片上。如何利用现有的深亚微米集成电路工艺制造出合格的高压器件，并将其与标准逻辑部分无缝集成，有效地对上千道复杂工序进行整合与优化，从而保证集成电路芯片的顺利生产是一个学术价值与市场价值兼备的课题。本文是对高压集成电路工艺的理论性研究和实践性工作 |
| 语种 | 中文 |
| 公开日期 | 2012-03-06 |
| 源URL | [http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/82348]  |
| 专题 | 上海微系统与信息技术研究所_微系统、冶金所学位论文_学位论文 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 王俊. 深亚微米高压集成电路中LDMOS的制造与工艺集成[D]. 中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所） . 2008. |
入库方式： OAI收割
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