微流控芯片制作工艺的研究
文献类型：学位论文
| 作者 | 陈强 |
| 学位类别 | 博士 |
| 答辩日期 | 2008 |
| 授予单位 | 中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所） |
| 授予地点 | 北京 |
| 导师 | 赵建龙 |
| 关键词 | 微流控芯片 模具 掩膜层 刻蚀 键合 |
| 学位专业 | 微电子学与固体电子学 |
| 中文摘要 | 微流控芯片（Microfluidic Chip）是上个世纪九十年代初提出来的一项全新的分析技术，是当前分析科学领域最活跃的发展前沿，代表着21 世纪分析仪器的发展方向。不断出现的创新加工技术促进了微流控芯片的发展，使得微流控芯片的结构越来越复杂，功能越来越强大，因此，研究和探索高效简便的加工技术成为微流控芯片发展的一个重要组成部分，本论文的研究工作将围绕着微流控芯片不同材料的性能与实现不同功能的要求来进行相关加工技术的探讨。本论文的主要内容有以下几个方面： 1、利用硅材料的单晶特性，制作集成固相微萃取结构 |
| 公开日期 | 2012-03-06 |
| 源URL | [http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/82350]  |
| 专题 | 上海微系统与信息技术研究所_微系统、冶金所学位论文_学位论文 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 陈强. 微流控芯片制作工艺的研究[D]. 北京. 中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所） . 2008. |
入库方式： OAI收割
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