“L形梁—质量块”结构压阻式微加速度传感器研究
文献类型：学位论文
| 作者 | 高廷金 |
| 学位类别 | 硕士 |
| 答辩日期 | 2009 |
| 授予单位 | 中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所） |
| 授予地点 | 北京 |
| 导师 | 熊斌 |
| 关键词 | 微加速度传感器 压阻 L形梁 |
| 学位专业 | 微电子学与固体电子学 |
| 中文摘要 | 微加速度传感器作为一种惯性器件在汽车、电子、导航、石油探测和地震预报等领域有着广泛的应用。压阻式微加速度传感器因具有线性度好、易于小型化、频率响应特性好、直接输出电压信号、接口电路简单、加工工艺简单等优点而受到广泛关注。 本文设计制作了一种采用L形梁结构的压阻式微加速度传感器。由于采用L形梁，因而能在较小的空间内实现较长的梁，节省了面积、提高了器件的一致性；同时该结构具有较高的谐振频率，因而具有较宽的频率响应范围，并且通过优化电阻放置方式可以使器件具有较小的横向灵敏度。具体内容如下： 首先，建立了一个简化 |
| 公开日期 | 2012-03-06 |
| 页码 | 62 |
| 源URL | [http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/82366]  |
| 专题 | 上海微系统与信息技术研究所_微系统、冶金所学位论文_学位论文 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 高廷金. “L形梁—质量块”结构压阻式微加速度传感器研究[D]. 北京. 中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所） . 2009. |
入库方式： OAI收割
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