片上集成MEMS射频无源器件研究
文献类型：学位论文
| 作者 | 吴争争 |
| 学位类别 | 硕士 |
| 答辩日期 | 2009 |
| 授予单位 | 中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所） |
| 导师 | 李昕欣 |
| 关键词 | 射频微机电系统 射频无源器件 射频滤波器 巴伦 射频集成电路 |
| 学位专业 | 微电子学与固体电子学 |
| 中文摘要 | 使用MEMS的微加工制造技术能够跨越摩尔定律实现新一代的射频集成片上系统。本论文主要研究利用MEMS技术实现能够与标准的CMOS集成电路进行片上集成或封装集成的高性能射频无源器件和射频无源电路。基于研究的MEMS制造工艺，提高了集成在CMOS低阻硅衬底上的射频无源器件的性能，实现了片上集成MEMS射频滤波器、片上集成MEMS巴伦(balun)和其它器件的研制。具体研究内容包括： 提出了一种射频无源器件的片上集成制造工艺，实现了高性能嵌入式螺管电感和MIM电容的集成制造。基于开发的集成制造工艺和器件技术 |
| 语种 | 中文 |
| 公开日期 | 2012-03-06 |
| 页码 | 77 |
| 源URL | [http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/82376]  |
| 专题 | 上海微系统与信息技术研究所_微系统、冶金所学位论文_学位论文 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 吴争争. 片上集成MEMS射频无源器件研究[D]. 中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所） . 2009. |
入库方式： OAI收割
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