MEMS面型微加热器的结构设计和制作
文献类型：学位论文
| 作者 | 吴雷 |
| 学位类别 | 硕士 |
| 答辩日期 | 2005 |
| 授予单位 | 中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所） |
| 导师 | 王跃林 ; 李铁 |
| 关键词 | 微型加热器 微电子机械系统 气体传感器 微型光源 |
| 学位专业 | 微电子学与固体电子学 |
| 中文摘要 | 随着MEMS技术的不断发展,基于MEMS技术的微型加热器在气体传感器、红外探测器等领域的应用日趋广泛。MEMS微加热器通常采用绝热性好的薄膜作为衬底材料,具有体积小,功耗低,响应时间短,灵敏度高,重复性好,易于集成和阵列化等一系列优点。本文在对国内外相关工作进行回顾的基础上,针对低功耗、大均温面秘的MEMS技术面型微加热器开展了热学和力学上较为系统的设计工作,设计出分别适用于真空和大气两种工作环境下的新型结构,并通过制造和测试对设计进行了验证。获得了在大气下500×300um~2区域内温差仅0.05℃/μ |
| 语种 | 中文 |
| 公开日期 | 2012-03-06 |
| 源URL | [http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/82384]  |
| 专题 | 上海微系统与信息技术研究所_微系统、冶金所学位论文_学位论文 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 吴雷 . MEMS面型微加热器的结构设计和制作[D]. 中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所） . 2005. |
入库方式： OAI收割
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