悬臂梁结构微机械压阻式加速度传感器研究
文献类型：学位论文
| 作者 | 金虎 |
| 学位类别 | 硕士 |
| 答辩日期 | 2000 |
| 授予单位 | 中国科学院上海冶金研究所 |
| 授予地点 | 北京 |
| 导师 | 陆德仁 |
| 关键词 | 加速度传感器:6637 悬臂梁结构:5502 压阻式:4054 微机械:2896 小量程:437 薄膜应力:416 横向效应:388 氧化硅:368 复合薄膜:329 应力作用:298 |
| 学位专业 | 微电子学与固态电子学 |
| 中文摘要 | 基于微机械加工技术的压阻式加速度传感器是一类很重要的传感器。传感 器的量程最低可到±2g，最高±500g，线性度一般为0.2%至1%，横向效应一 般在1％至3％。小量程加速度传感器在实际中有较为广泛的用途，如汽车ABS 系统、制导系统等都需要高精确度的小量程传感器。低量程高线性的加速度传 感器除可作为加速度传感器外，还可以应用于倾角仪等。 论文的第一章对微机械加工技术、MEMS器件及其应用和微机械加速度传 感器的研究、以及薄膜应力作用的一般规律进行了综述，总结了MEMS技术的 应用前景及微机械压阻式加速度 |
| 公开日期 | 2012-03-06 |
| 源URL | [http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/82401]  |
| 专题 | 上海微系统与信息技术研究所_微系统、冶金所学位论文_学位论文 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 金虎 . 悬臂梁结构微机械压阻式加速度传感器研究[D]. 北京. 中国科学院上海冶金研究所 . 2000. |
入库方式： OAI收割
浏览0
下载0
收藏0
其他版本
除非特别说明，本系统中所有内容都受版权保护，并保留所有权利。