丝焊互连的高温可靠性和相关问题的研究
文献类型：学位论文
| 作者 | 杜黎光 |
| 学位类别 | 博士 |
| 答辩日期 | 2001 |
| 授予单位 | 中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所） |
| 导师 | 罗乐 |
| 关键词 | 高温丝焊互连可靠性 Pd Pd／Ti膜 Au/Ti膜 互扩散 气氛 |
| 学位专业 | 材料物理与化学 |
| 中文摘要 | 本论文工作的主要目的是研究适合高温器件使用的丝焊互连体系。本文选用Pd丝和与其相匹配的焊盘材料，如Au/Ti、Pd/Ti等宋取代常用的Au/Al丝焊体系，应用于Si、SiO_2/Si和Al_2O_3等常用衬底材料上，并将所选体系在高温不同环境气氛下退火，通过原位电阻测试、机械强度测试、扫描电镜(SEM)、俄歇(AES)、二次离子质谱(SIMS)和卢瑟福背散射等微分析手段来研究诸互连系统在＞=300℃时的可靠性及其相关问题。得到如下结论： 1．研究了Pd丝在高温(300℃左右)不同气氛下退火时的电阻变化和机 |
| 语种 | 中文 |
| 公开日期 | 2012-03-06 |
| 源URL | [http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/82412]  |
| 专题 | 上海微系统与信息技术研究所_微系统、冶金所学位论文_学位论文 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 杜黎光 . 丝焊互连的高温可靠性和相关问题的研究[D]. 中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所） . 2001. |
入库方式： OAI收割
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