新型高灵敏度低功耗的磁场传感器设计与模拟
文献类型：会议论文
| 作者 | 刘玉菲 ; 赵本刚 ; 吴亚明 ; 王跃林 |
| 出版日期 | 2006 |
| 会议名称 | 传感技术学报 |
| 会议日期 | 2006 |
| 关键词 | MOEMS技术 磁场传感器 扭转微镜面 双光纤准直器 |
| 中文摘要 | 本文提出了一种用于微弱磁场检测的新型MOEMS磁场传感器结构,包括MEMS微扭转敏感结构、磁性敏感薄膜和光学检测部分.文中分析了器件的磁敏感原理和光学检出原理,给出了器件的结构参数、模态分析和综合设计考虑,并利用Matlab进行了解析计算,通过ANSYS进行了模拟仿真分析.分析结果表明:通过双光纤准直器和光电探测器监测微扭转镜面的扭转,该器件可以实现60nT的磁场探测,其探测灵敏度可以达到0.6dB/μT. |
| 会议网址 | http://d.wanfangdata.com.cn/Conference_6214732.aspx |
| 会议录 | 传感技术学报
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| 语种 | 中文 |
| 源URL | [http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/55474]  |
| 专题 | 上海微系统与信息技术研究所_中文期刊、会议、专利、成果_国内会议论文 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 刘玉菲,赵本刚,吴亚明,等. 新型高灵敏度低功耗的磁场传感器设计与模拟[C]. 见:传感技术学报. 2006.http://d.wanfangdata.com.cn/Conference_6214732.aspx. |
入库方式： OAI收割
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