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SOI技术的发展动态

文献类型:会议论文

作者林成鲁
出版日期2003
会议名称第十二届全国电子束、离子束和光子束学术年会
会议日期2003
关键词SOI技术 硅材料 硅集成电路
中文摘要本文综述了SOI(Silicon-on-insulator)技术的发展历程,SOI的主流技术,SOI技术发展的新动向,SOI技术的应用进展,并介绍了上海微系统与信息技术研究所和上海新傲科技有限公司的SOI研发和产业化情况.
会议网址http://d.wanfangdata.com.cn/Conference_5203445.aspx
会议录第十二届全国电子束、离子束和光子束学术年会论文集
语种中文
源URL[http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/55482]  
专题上海微系统与信息技术研究所_中文期刊、会议、专利、成果_国内会议论文
推荐引用方式
GB/T 7714
林成鲁. SOI技术的发展动态[C]. 见:第十二届全国电子束、离子束和光子束学术年会. 2003.http://d.wanfangdata.com.cn/Conference_5203445.aspx.

入库方式: OAI收割

来源:上海微系统与信息技术研究所

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