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新一代硅——SOI技术的发展动向

文献类型:会议论文

作者林成鲁
出版日期2003
会议名称2003中国集成电路产业发展战略研讨会暨中国半导体行业协会IC分会年会
会议日期2003
关键词半导体技术 集成电路 硅材料 SOI技术
中文摘要本文综述了SOI(Silicon-on-insulator)技术的发展历程,SOI的主流技术,SOI技术发展的新动向,SOI技术的应用进展,并介绍了上海微系统与信息技术研究所和上海新傲科技有限公司的SOI研发和产业化情况。
会议网址http://d.wanfangdata.com.cn/Conference_6440725.aspx
会议录2003中国集成电路产业发展战略研讨会暨中国半导体行业协会IC分会年会论文集
语种中文
源URL[http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/55486]  
专题上海微系统与信息技术研究所_中文期刊、会议、专利、成果_国内会议论文
推荐引用方式
GB/T 7714
林成鲁. 新一代硅——SOI技术的发展动向[C]. 见:2003中国集成电路产业发展战略研讨会暨中国半导体行业协会IC分会年会. 2003.http://d.wanfangdata.com.cn/Conference_6440725.aspx.

入库方式: OAI收割

来源:上海微系统与信息技术研究所

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