新一代硅——SOI技术的发展动向
文献类型：会议论文
| 作者 | 林成鲁 |
| 出版日期 | 2003 |
| 会议名称 | 2003中国集成电路产业发展战略研讨会暨中国半导体行业协会IC分会年会 |
| 会议日期 | 2003 |
| 关键词 | 半导体技术 集成电路 硅材料 SOI技术 |
| 中文摘要 | 本文综述了SOI(Silicon-on-insulator)技术的发展历程,SOI的主流技术,SOI技术发展的新动向,SOI技术的应用进展,并介绍了上海微系统与信息技术研究所和上海新傲科技有限公司的SOI研发和产业化情况。 |
| 会议网址 | http://d.wanfangdata.com.cn/Conference_6440725.aspx |
| 会议录 | 2003中国集成电路产业发展战略研讨会暨中国半导体行业协会IC分会年会论文集
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| 语种 | 中文 |
| 源URL | [http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/55486]  |
| 专题 | 上海微系统与信息技术研究所_中文期刊、会议、专利、成果_国内会议论文 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 林成鲁. 新一代硅——SOI技术的发展动向[C]. 见:2003中国集成电路产业发展战略研讨会暨中国半导体行业协会IC分会年会. 2003.http://d.wanfangdata.com.cn/Conference_6440725.aspx. |
入库方式： OAI收割
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