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低电压下静电力驱动的数字微流控芯片

文献类型:会议论文

作者刘翔 ; 皋华敏 ; 李铁 ; 周萍 ; 王跃林
出版日期2009
会议名称中国微米纳米技术学会第十一届学术年会
会议日期2009
关键词微全分析系统 数字微流控芯片 静电力驱动
中文摘要微全分析系统(μTAS)或芯片实验室(LOC)具有微型化、自动化、集成化与便携化的特点,近年来发展迅速,在生物检测、医疗诊断等方面显现出良好的应用前景。在这些系统中,精确操控微液体是最关键的部分。数字微流控芯片相对连续微流控芯片而言,没有可动部件,不需要复杂的微泵微阀结构和控制,成为当前研究的热点。本文基于静电力的驱动原理,只需单层控制电极,工艺简单,通过优化结构,采用高介电常数介质层和减少介质层厚度,大大降低了液滴驱动电压。
会议网址http://d.wanfangdata.com.cn/Conference_7196975.aspx
会议录中国微米纳米技术学会第十一届学术年会论文集
语种中文
源URL[http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/55498]  
专题上海微系统与信息技术研究所_中文期刊、会议、专利、成果_国内会议论文
推荐引用方式
GB/T 7714
刘翔,皋华敏,李铁,等. 低电压下静电力驱动的数字微流控芯片[C]. 见:中国微米纳米技术学会第十一届学术年会. 2009.http://d.wanfangdata.com.cn/Conference_7196975.aspx.

入库方式: OAI收割

来源:上海微系统与信息技术研究所

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