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InP基HEMT结构上制备的肖特基二极管

文献类型:会议论文

作者孙浩 ; 孙晓玮 ; 齐鸣 ; 王伟 ; 艾立鹍 ; 滕腾 ; 李凌云 ; 钱蓉 ; 徐安怀 ; 朱福英 ; 田彤
出版日期2010
会议名称第十六届全国化合物半导体材料、微波器件和光电器件学术会议
会议日期2010
中文摘要利用气态源分子束外延生长的InAlAs/InGaAs/InP HEMT 结构上制备出了InP基肖特基二极管器件,器件开启电压为0.1V,理想因子1.94,具有较小的肖特基势垒0.356eV。在室温下对不同结构器件进行了高频特性测试,结果表明阳极尺寸为3μm×44μm三指结构器件的截止频率超过300GHz,该器件适合零偏下工作,并将可能和HRMT实现单片集成。
会议网址http://d.wanfangdata.com.cn/Conference_7390511.aspx
会议录第十六届全国化合物半导体材料、微波器件和光电器件学术会议论文集
语种中文
源URL[http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/55506]  
专题上海微系统与信息技术研究所_中文期刊、会议、专利、成果_国内会议论文
推荐引用方式
GB/T 7714
孙浩,孙晓玮,齐鸣,等. InP基HEMT结构上制备的肖特基二极管[C]. 见:第十六届全国化合物半导体材料、微波器件和光电器件学术会议. 2010.http://d.wanfangdata.com.cn/Conference_7390511.aspx.

入库方式: OAI收割

来源:上海微系统与信息技术研究所

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