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三维柔性神经微电极阵列的制作

文献类型:会议论文

作者孙晓娜 ; 周洪波 ; 李刚 ; 赵建龙
出版日期2007
会议名称第四届全国微全分析系统学术会议
会议日期2007
关键词人工视网膜 三维柔性电极 微细加工 电极表面积 聚酰亚胺
中文摘要本文提出了一种具有三维凸起结构的柔性神经微电极的制作工艺和方法。该方法采用光敏型聚酰亚胺(Dunmide 7510)作为微电极的基质材料,通过湿法刻蚀、光刻、lift-off、电化学释放等工艺制成具有塔形凸起结构的微电极阵列。相对于传统的平面微电极阵列,三维凸起微电极阵列既保证了微电极刺激位点与神经细胞的良好接触,同时也增加了电极刺激位点表面积,从而提高微电极刺激效果。
会议网址http://d.wanfangdata.com.cn/Conference_6580506.aspx
会议录第四届全国微全分析系统学术会议论文集
语种中文
源URL[http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/55522]  
专题上海微系统与信息技术研究所_中文期刊、会议、专利、成果_国内会议论文
推荐引用方式
GB/T 7714
孙晓娜,周洪波,李刚,等. 三维柔性神经微电极阵列的制作[C]. 见:第四届全国微全分析系统学术会议. 2007.http://d.wanfangdata.com.cn/Conference_6580506.aspx.

入库方式: OAI收割

来源:上海微系统与信息技术研究所

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