基于压阻检测的双端固支硅纳米梁谐振特性研究
文献类型：会议论文
| 作者 | 赵全斌 ; 焦继伟 ; 杨恒 ; 林梓鑫 ; 李铁 ; 张颖 ; 王跃林 |
| 出版日期 | 2006 |
| 会议名称 | 传感技术学报 |
| 会议日期 | 2006 |
| 关键词 | 双端固支硅纳米梁 压阻检测 Ar离子轰击 谐振特性 |
| 中文摘要 | 我们利用压阻检测法对双端固支硅纳米梁的谐振特性进行了研究.在(111)硅衬底上,用KOH选择性腐蚀制作出了厚度约为242 nm的双端固支硅纳米梁;对梁上表面采用Ar离子进行局部轰击,受轰击侧的原子结构遭到破坏,电导率显著下降,未受轰击侧原子结构则保持原掺杂结构,在梁厚度方向形成非对称掺杂,表现出压阻特性.利用该局部压阻,我们首次完成了对双端固支硅纳米梁的谐振特性的测量,其共振频率为400 kHz;同时,我们对获得的低Q值进行了初步讨论. |
| 会议网址 | http://d.wanfangdata.com.cn/Conference_6213779.aspx |
| 会议录 | 传感技术学报
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| 语种 | 中文 |
| 源URL | [http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/55542]  |
| 专题 | 上海微系统与信息技术研究所_中文期刊、会议、专利、成果_国内会议论文 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 赵全斌,焦继伟,杨恒,等. 基于压阻检测的双端固支硅纳米梁谐振特性研究[C]. 见:传感技术学报. 2006.http://d.wanfangdata.com.cn/Conference_6213779.aspx. |
入库方式： OAI收割
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