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基于SOI材料的集成波导微镜与器件研究

文献类型:会议论文

作者杨建义 ; 唐衍哲 ; 王文辉 ; 贾科淼 ; 江晓清 ; 李铁 ; 吴亚明 ; 王跃林
出版日期2004
会议日期2004
关键词SOI材料 集成光学 光波导 微镜 分路器
中文摘要利用硅刻蚀技术,包括干法刻蚀、湿法各向异性刻蚀、或是干湿相结合,可以制作出实现光波导弯曲的具有低插入损耗的集成微镜。而将集成波导微镜应用于集成光子器件,将可以获得具有紧凑结构的器件。文中探讨了集成微镜的制作,并将集成微镜应用于多种集成光子器件的输入/输出接引端,还将集成微镜用于阵列波导光栅的制作。
会议网址http://d.wanfangdata.com.cn/Conference_6333258.aspx
语种中文
源URL[http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/55576]  
专题上海微系统与信息技术研究所_中文期刊、会议、专利、成果_国内会议论文
推荐引用方式
GB/T 7714
杨建义,唐衍哲,王文辉,等. 基于SOI材料的集成波导微镜与器件研究[C]. 见:. 2004.http://d.wanfangdata.com.cn/Conference_6333258.aspx.

入库方式: OAI收割

来源:上海微系统与信息技术研究所

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