基于SOI材料的集成波导微镜与器件研究
文献类型：会议论文
| 作者 | 杨建义 ; 唐衍哲 ; 王文辉 ; 贾科淼 ; 江晓清 ; 李铁 ; 吴亚明 ; 王跃林 |
| 出版日期 | 2004 |
| 会议日期 | 2004 |
| 关键词 | SOI材料 集成光学 光波导 微镜 分路器 |
| 中文摘要 | 利用硅刻蚀技术，包括干法刻蚀、湿法各向异性刻蚀、或是干湿相结合，可以制作出实现光波导弯曲的具有低插入损耗的集成微镜。而将集成波导微镜应用于集成光子器件，将可以获得具有紧凑结构的器件。文中探讨了集成微镜的制作，并将集成微镜应用于多种集成光子器件的输入/输出接引端，还将集成微镜用于阵列波导光栅的制作。 |
| 会议网址 | http://d.wanfangdata.com.cn/Conference_6333258.aspx |
| 语种 | 中文 |
| 源URL | [http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/55576]  |
| 专题 | 上海微系统与信息技术研究所_中文期刊、会议、专利、成果_国内会议论文 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 杨建义,唐衍哲,王文辉,等. 基于SOI材料的集成波导微镜与器件研究[C]. 见:. 2004.http://d.wanfangdata.com.cn/Conference_6333258.aspx. |
入库方式： OAI收割
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