电磁驱动电容检测硅微机械陀螺设计
文献类型：会议论文
| 作者 | 宋朝辉 ; 贾孟军 ; 李昕欣 ; 陈志龙 |
| 出版日期 | 2003 |
| 会议名称 | 第八届敏感元件与传感器学术会议 |
| 会议日期 | 2003 |
| 关键词 | 微陀螺 折叠梁 有限元分析 |
| 中文摘要 | 介绍了一种电磁驱动电容检测微机械陀螺的结构和工作原理.该陀螺的突出优点在于驱动和检测采用了相互独立的折叠梁和振动质量,减小了驱动和检测间的耦合,有利于获得较大的工作带宽.本文从理论上分析了折叠梁结构参数对力学性能的影响,用ANSYS进行了验证.并在SOI基片制作了陀螺的微机械结构. |
| 会议网址 | http://d.wanfangdata.com.cn/Conference_5504412.aspx |
| 会议录 | 第八届敏感元件与传感器学术会议论文集
 |
| 语种 | 中文 |
| 源URL | [http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/55591]  |
| 专题 | 上海微系统与信息技术研究所_中文期刊、会议、专利、成果_国内会议论文 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 宋朝辉,贾孟军,李昕欣,等. 电磁驱动电容检测硅微机械陀螺设计[C]. 见:第八届敏感元件与传感器学术会议. 2003.http://d.wanfangdata.com.cn/Conference_5504412.aspx. |
入库方式： OAI收割
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