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波长扩展(λ>1.7μm)InGaAs光电探测器及其应用

文献类型:会议论文

作者张永刚 ; 顾溢 ; 王凯 ; 李成 ; 李爱珍 ; 郑燕兰
出版日期2008
会议名称第十五届全国化合物半导体材料、微波器件和光电器件学术会议
会议日期2008
关键词光电探测器 化合物半导体 铟镓砷 气态源分子束外延 晶格匹配
中文摘要采用气态源分子束外延方法和化合物半导体工艺研制了晶格匹配和波长扩展的InGaAs探测器,其室温下的截止波长已由1.7μm拓展至2.7μm。对此探测器系列的特性进行了细致的测量表征,结果表明此类探测器十分适合在室温条件下工作,且在热电制冷温度下其性能可大为改观。瞬态特性测量结果表明此探测器系列可在高速下工作,实测响应速度已达数十ps量级,可以满足此波段激光雷达等方面的需要。
会议网址http://d.wanfangdata.com.cn/Conference_7088747.aspx
会议录第十五届全国化合物半导体材料、微波器件和光电器件学术会议论文集
语种中文
源URL[http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/55682]  
专题上海微系统与信息技术研究所_中文期刊、会议、专利、成果_国内会议论文
推荐引用方式
GB/T 7714
张永刚,顾溢,王凯,等. 波长扩展(λ>1.7μm)InGaAs光电探测器及其应用[C]. 见:第十五届全国化合物半导体材料、微波器件和光电器件学术会议. 2008.http://d.wanfangdata.com.cn/Conference_7088747.aspx.

入库方式: OAI收割

来源:上海微系统与信息技术研究所

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