扫描电镜低加速电压成像技术
文献类型：会议论文
| 作者 | 唐圣明 |
| 出版日期 | 2008 |
| 会议名称 | 二〇〇八全国功能材料科技与产业高层论坛 |
| 会议日期 | 2008 |
| 关键词 | 纳米材料 显微分析 扫描电镜 低电压成像 |
| 中文摘要 | 随着纳米技术的发展,扫描电镜低加速电压下的成像技术日益引起人们的重视。本文介绍了扫描电镜低加速电压下高分辨率成像技术的原理及方法,在纳米材料和薄膜材料研究中的应用。 |
| 会议网址 | http://d.wanfangdata.com.cn/Conference_6793842.aspx |
| 会议录 | 二〇〇八全国功能材料科技与产业高层论坛论文集
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| 语种 | 中文 |
| 源URL | [http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/55686]  |
| 专题 | 上海微系统与信息技术研究所_中文期刊、会议、专利、成果_国内会议论文 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 唐圣明. 扫描电镜低加速电压成像技术[C]. 见:二〇〇八全国功能材料科技与产业高层论坛. 2008.http://d.wanfangdata.com.cn/Conference_6793842.aspx. |
入库方式： OAI收割
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