光学读出热成像焦平面阵列的制作技术
文献类型：会议论文
| 作者 | 冯飞 ; 李珂 ; 杨广立 ; 闫许 ; 熊斌 ; 王跃林 |
| 出版日期 | 2007 |
| 会议名称 | 2007年光电探测与制导技术的发展与应用研讨会 |
| 会议日期 | 2007 |
| 关键词 | 光学读出热成像 红外成像 焦平面阵列 微机械工艺 |
| 中文摘要 | 光学读出热成像是一种新型的红外成像技术,它基于双材料效应和光学原理实现像转换与像增强,具有高性价比的潜在优势。光学读出热成像焦平面阵列由可动微镜阵列构成,其制作技术是光学读出热成像技术的重要研究内容之一。目前,国内外的研究者已发展了基于表面微机械、体微机械以及表面/体微机械工艺的3种制作技术,前两者各有优缺点,而基于表面/体硅微机械工艺的制作技术则兼顾了前两者的优点。 |
| 会议网址 | http://d.wanfangdata.com.cn/Conference_6473504.aspx |
| 会议录 | 2007年光电探测与制导技术的发展与应用研讨会论文集
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| 语种 | 中文 |
| 源URL | [http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/55767]  |
| 专题 | 上海微系统与信息技术研究所_中文期刊、会议、专利、成果_国内会议论文 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 冯飞,李珂,杨广立,等. 光学读出热成像焦平面阵列的制作技术[C]. 见:2007年光电探测与制导技术的发展与应用研讨会. 2007.http://d.wanfangdata.com.cn/Conference_6473504.aspx. |
入库方式： OAI收割
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