阶跃和脉冲信号下微机械电容式惯性传感器的可靠工作条件
文献类型：会议论文
| 作者 | 鲍敏杭 ; 孙远程 ; 黄宜平 ; 王跃林 |
| 出版日期 | 2003 |
| 会议名称 | 第八届敏感元件与传感器学术会议 |
| 会议日期 | 2003 |
| 关键词 | 阶跃响应 微电子机械器件 电容式传感器 |
| 中文摘要 | 对用于测试惯性力的电容式传感器来说,必须引入用于检测电容变化的交变测试信号.然而由于该静电力的存在,其与惯性力和机械力联合作用必然会对传感器的可靠工作带来不利影响,如可能导致传感器的惯性质量块与静态电极永久吸合.在我们以前的工作中已讨论了准静态惯性信号的可靠工作条件.结果表明器件要可靠工作所能承受的最大惯性信号同静电测试信号紧密相关.测试信号越大,器件的可靠工作量程就越小.我们知道在现实条件下惯性信号往往是动态的,而且阻尼比可能很小.因此在准静态条件下,电与机械的相互作用显然被低估了.这里我们进一步对低阻 |
| 会议网址 | http://d.wanfangdata.com.cn/Conference_5504915.aspx |
| 会议录 | 第八届敏感元件与传感器学术会议论文集
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| 语种 | 中文 |
| 源URL | [http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/55825]  |
| 专题 | 上海微系统与信息技术研究所_中文期刊、会议、专利、成果_国内会议论文 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 鲍敏杭,孙远程,黄宜平,等. 阶跃和脉冲信号下微机械电容式惯性传感器的可靠工作条件[C]. 见:第八届敏感元件与传感器学术会议. 2003.http://d.wanfangdata.com.cn/Conference_5504915.aspx. |
入库方式： OAI收割
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